Die marktführende INFICON RF-Sensortechnologie vereint die neuesten technischen Entwicklungen im RF-Sensordesign und qualitativ hochwertige Herstellungsverfahren in einem einzigartigen Sortiment von RF-Produkten, die aktuelle Anforderungen an Messungen in Halbleiterprozessen erfüllen. Das umfassende RF-Produktsortiment von INFICON reicht von einfachen Anwendungen wie der Lichtbogenerkennung und der Kammerreinigungs-Endpunktsteuerung bis hin zur RF-Diskriminanzanalyse des gesamten Frequenzbereichs für prädiktive Modellierung.
