Hochpräzise, wiederholbare Kontrolle des Kammerreinigungsendpunkts zur Kostenreduzierung
Mit dem Sion™ RF Detector erhalten Sie bessere Kontrolle und höhere Erträge bei chemischen Dampfabscheidungs- (CVD) und Ätzprozessen, indem der Kammerreinigungsendpunkt verlässlich und präzise bestimmt wird. Eine präzisere Endpunktbestimmung bedeutet niedrigere Mengen von Partikeln auf den Wafern und mehr Zeit zwischen präventiven Wartungszyklen.
Der Sion bietet eine Reihe von Vorteilen gegenüber Controllern, die auf optischen Emissionsspektrometern basieren, und arbeitet mit dem FabGuard® Integration and Analysis System zusammen, um Zeit- und Materialverlust im Zusammenhang mit Unter- oder Überätzung bei der Kammerreinigung zu reduzieren.
Features auf einen Blick
- Leichter, direkter Austausch bei OES-basierten Instrumenten für eine präzisere Endpunktkontrolle
- Eliminiert Unter- oder Überätzung bei der Kammerreinigung und reduziert dadurch Zeit- und Materialkosten.
- Kosteneinsparung, da weniger Reinigungsgasdurchfluss erforderlich ist
- Erhöht die Gerätelaufzeit, da Wartung und Austausch von Kammerfenstern überflüssig werden
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
 |
Brochure - Sion RF Detector for Endpoint Control
English
|
|
 | | Sion RF Detector for Endpoint Control Eliminates Over-Etching for Increased Throughput |
|  | | FabGuard Sensor Integration and Analysis System |
|
|
|
