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Products:


> Analizadores de gas residual
> Componentes de vacío
> Detectores de fugas
> Integrierte Prozessüberwachung
> Manómetros de vacío
> Paquete de software FabGuard
> Tecnología de detección por RF con FabGuard
 
•  RFS100 RF Sensor
•  Sion RF Detector for Endpoint Control
•  Sion RF Detector for Plasma Arc Detection
   
> Válvulas de vacío y sistemas de dosificación de gas



Tecnología de sensores de RF
La tecnología de sensores de RF líder en el mercado de INFICON combina los últimos avances técnicos en el diseño de sensores de RF con procedimientos de fabricación de calidad, que permiten crear un rango único de productos de RF para satisfacer las necesidades actuales de medición de procesos de herramientas semiconductoras. INFICON ofrece el mejor catálogo de productos para satisfacer sus necesidades de sensores de RF, desde aplicaciones sencillas como la detección de arco o el control de punto de equivalencia de limpieza de la cámara hasta análisis de RF discriminados de frecuencia completa para modelado predictivo.

Detector de RF Sion para el control del punto de equivalencia

Detector de RF Sion para la detección de arco de plasma

Sensor de RF RFS100 - Con capacidad de modelado y discriminación de frecuencias

Featured Product

Detector de RF Sion para la detección de arco de plasma - Análisis de micro arcos ultrarrápido y de gran potencia




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