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•  RFS100 RF Sensor
•  Sion RF Detector for Endpoint Control
•  Sion RF Detector for Plasma Arc Detection
   



RFセンシングテクノロジー
INFICONの市場をリードする感知技術は、RFセンサデザインにおける最新の技術進歩と質の高い製造過程を組合せ、今日の半導体装置プロセス計測のニーズを満たすRF製品のユニークな品揃えを生み出しています。アーク検出やチャンバークリーニング終点のコントロールといったシンプルな作業から、予見モデルの全周波区別RF分析まで、INFICONはあなたのRF感知のニーズを満たす最高の製品ポートフォリオを提供します。

終点コントロール用Sion RFディテクタ

プラズマアーク検出用Sion RFディテクタ

モデリング可能、周波数識別 RFS100 RFセンサ

Featured Product

Sion RFディテクターでプラズマアーク検出- マイクロアーキングを超高速でハイパワー分析




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