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>    FabGuard를 이용한 RF 감지 기술   

Products:

> 누출 검출기
> 잔류 가스 분석기
> 진공 게이지
> 진공 밸브 및 가스 주입 시스템
> 진공 컴포넌트
> 통합 공정 감시
> FabGuard 통합 소프트웨어
> FabGuard를 이용한 RF 감지 기술
 
•  RFS100 RF Sensor
•  Sion RF Detector for Endpoint Control
•  Sion RF Detector for Plasma Arc Detection
   



RF 감지 기술
시장을 선도하는 INFICON의 RF 감지 기술은 RF 센서 설계의 최신 기술 발전을 고품질 제조 절차와 결합하여 오늘날의 반도체 툴 공정 측정 요구사항을 충족시키는 독특한 RF 제품들을 만들었습니다. 아크 검출 및 챔버 청소 엔드포인트 제어와 같은 간단한 분야에서 예측 모델링을 위한 전체 주파수 판별 RF 분석까지 INFICON은 귀사의 RF 감지 요구사항을 충족시키는 최고의 제품 포트폴리오를 제공합니다.

엔드포인트 제어를 위한 Sion RF 검출기

플라즈마 아크 검출을 위한 Sion RF 검출기

RFS100 RF 센서 - 모델링 가능, 주파수 구분

Featured Product

플라즈마 아크 검출용 Sion RF 검출기 - 마이크로 아킹(micro-arcing)의 초고속 고출력 분석




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