공정 변동성을 크기 줄이는 실시간 플라즈마 공정 분석이 가능한 FabGuard가 포함된 RF 센서
INFICON RF 센서 기술은 반도체 가공 툴을 위해 매우 정확한 광대역 주파수 판별 RF 측정 기능을 제공합니다. RF 데이터는 공정 개발 및 생산 공정 문제의 실제 플라즈마 조건에 대해 상세한 통찰력을 제공하므로 공정 변동성을 크게 줄여줍니다. 최신 고도 공정 제어 현장 센서 스위트 제품인 이 비간섭적 인라인 케이블 마운트 RF 센서는 FabGuard 센서 통합 및 분석 시스템과 결합하여 PVD, CVD 및 에칭 응용분야에서 정확한 챔버 및 공정 파워 및 임피던스 측정, 고장의 근본원인(매칭 네트워크 문제 등) 분석, 챔버 매칭을 위한 공정 지문, 그리고 웨이퍼 계측 모델링과 같은 핵심 진단 정보 를 제공합니다.
FabGuard를 포함한 INFICON RF 센서 기술은 위상각 측정을 비롯한 기본 및 고조파 전압과 전류에 대한 측정 및 분석으로 웨이퍼 계측 결과를 예측하는 매우 정확한 모델을 생성하므로, 엔지니어들은 모든 가공 웨이퍼에 대해 실제 웨이퍼의 결과를 제어할 수 있는 능력을 갖게 됩니다. 이제 유일하고 강력한 FabGuard 알고리즘 기능이 RF 센서 기술과 결합하여 이해하기 쉬운 사용자 인터페이스를 통해 제공되는 실시간 측정 및 상관관계에 근거한 반도체 공정의 반복성, 안정성 및 정밀성이 크게 향상되었습니다.
응용분야
CVD
- 웨이퍼 계측 모델링(막 응력, 막 두께)
- 실제 공정 챔버를 통해 전달되는 파워에 대한 능동적인 제어
- FDC (예: 플라즈마 불안정, 충전)
- 챔버 매칭(RF 지문)
PVD
- 웨이퍼 계측 모델링(비저항)
- FDC
- 챔버 매칭(RF 지문)
에칭
- 웨이퍼 계측 모델링(에칭률)
- 실제 공정 챔버를 통해 전달되는 파워에 대한 능동적인 제어
- FDC
- 챔버 매칭(RF 지문)
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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RF Sensor with FabGuard Integration Software
English
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