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>    带有 FabGuard 的射频传感技术   

Products:

> 带有 FabGuard 的射频传感技术
 
•  RFS100 RF Sensor
•  Sion RF Detector for Endpoint Control
•  Sion RF Detector for Plasma Arc Detection
   
> 检漏仪
> 残余气体分析仪
> 真空元件
> 真空计
> 真空阀和气体计量系统
> 集成式过程监控
> FabGuard 软件套件



射频传感技术
为满足当今的半导体工具过程测量需求，INFICON 市场领先的射频传感技术结合射频传感器设计领域最新的技术进步和品质制造程序，打造了一系列独特的射频产品。 从电弧检测和腔室清洗终点控制等简单的应用，到预测建模的全频识别射频分析，INFICON 提供最佳的产品组合，满足您的射频传感需求。

用于终点控制的 Sion 射频检测器

用于等离子弧检测的 Sion 射频检测器

RFS100 射频传感器 – 建模能力，频率识别

Featured Product

用于等离子弧检测的 Sion 射频检测器 - 超强超快地分析微弧




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