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RFS100 射频传感器
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带有 FabGuard 的射频传感器能够实时提供等离子过程分析，大幅降低过程变异性
INFICON 射频传感技术能够为半导体过程工具提供高度准确、宽频、频率判别式射频测量。 通过此射频数据，可以详细了解过程开发和生产过程问题中的实际等离子状态，大幅降低过程变异性。 此款非接触嵌入式电缆安装的射频传感器是其先进过程控制//现场//传感器套件中的最新款传感器，可以与 FabGuard 传感器集成与分析系统 结合使用，提供关键诊断信息，例如准确的腔室和过程功率与阻抗测量、故障根本原因分析（例如匹配网络问题）、用于腔室匹配的过程“指纹”识别以及 PVD、CVD 和蚀刻应用的晶片计量建模。
INFICON 射频传感器技术利用 FabGuard 打造了高精确的产品，可通过对基本电压电流和谐波电压电流进行测量与分析（包括相角测量），预测晶片计量结果，因而工程师能够控制每个加工晶片的实际晶片计量结果。 现在，FabGuard 独一无二的强大算法性能与射频传感技术完美结合，可以基于实时测量以及易于理解的用户界面所提供的相关性分析，显著提高半导过程的可重复性、稳定性和准确性。
应用
CVD
- 晶片计量建模（薄膜应力、薄膜厚度）
- 对过程腔室提供的真正功率进行有功功率控制
- FDC（例如等离子体不稳定性、充电）
- 腔室匹配（射频指纹）
PVD
- 晶片计量建模（电阻率）
- FDC
- 腔室匹配（射频指纹）
蚀刻
- 晶片计量建模（蚀刻速率）
- 对过程腔室提供的真正功率进行有功功率控制
- FDC
- 腔室匹配（射频指纹）
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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RF Sensor with FabGuard Integration Software
English
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